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項目概況

東南大學微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心無掩膜激光直寫光刻機采購（二次）招標項目的潛在投標人應在南京市建鄴區(qū)新城科技園嘉陵江東街8號綜合體B3棟16層獲取招標文件，并于2021年12月08日09點30分（北京時間）前遞交投標文件。

一、項目基本情況

項目編號：JSHC-2021090615C6

項目名稱：東南大學微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心無掩膜激光直寫光刻機采購（二次）

預算金額：人民幣伍佰零肆萬元整（￥504萬）

最高限價：人民幣伍佰零肆萬元整（￥504萬）

采購需求：東南大學微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心采購無掩膜激光直寫光刻機一臺（套），主要技術要求如下：

1.設備組成：1、溫控防塵罩；2、高精密透鏡模塊及DMD模塊；3、半導體激光器（Diode Laser）；4、工作平臺裝置；5、定位激光干涉儀；6、主機電器控制裝置；7、圖形轉換軟件及系統(tǒng)操作計算機；8、大理石或花崗巖機座及氣浮減震裝置。

2.須具備兩種不同波長的光源；曝光用光源及波長：(1) 405nm Diode Laser；(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直寫速度：在100×100mm的刻寫幅面下，須達到≤35 min；可進行128階灰度曝光；配置高深寬比模塊，透過調整聚焦深度，以優(yōu)化膜厚較厚的光刻膠側壁粗造度；配置單元圖形對準功能，對晶圓上的各個單元圖形進行逐一對準，并對每個單元圖形進行逐一曝光。

最大直寫面積≥ 200mm x 200mm；配置背向對準功能，背向對準精度≤1000nm。

合同履行期限：詳見采購文件。

本項目不接受聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定：

1.1具有獨立承擔民事責任的能力（提供法人或者其他組織的營業(yè)執(zhí)照復印件并加蓋公章）；

1.2具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度【提供近一年（2020年12月至開標當日）任一月份的資產負債表和利潤表或2019/2020年度審計報告，或銀行出具的針對本項目的資信證明，或財政部門認可的專業(yè)擔保機構出具的投標擔保函】；

（法人或者其他組織成立未滿一年的可以不提供）

1.3具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力（根據項目需求提供履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力的證明材料或承諾函）；

1.4有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄【提供近一年（2020年12月至開標當日）任一月份的依法繳納稅收的憑據，以及繳納社會保險的憑據（專用收據或社會保險的憑據）。依法免稅或不需要繳納社會保障資金的投標供應商，應提供相應文件證明】；

1.5參加本次采購活動前（2018年11月01日至2021年11月01日）在經營活動中沒有重大違法記錄，提供參加本次采購活動前3年內在經營活動中沒有重大違法記錄的書面聲明；

1.6投標供應商須提供法定代表人授權書原件、法定代表人身份證復印件、授權代表身份證復印件（如果是法定代表人直接參與投標的可以不提供授權書）。

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：非專門面向中小企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項目。

3.本項目的特定資格要求：無。

4.本項目接受進口產品投標（注：本文件所稱進口產品是指通過中國海關報關驗放進入中國境內且產自關境外的產品），如果所投產品是進口產品需提供生產廠商針對該項目的銷售代理授權委托書。

5.拒絕下述供應商參加本次采購活動:

5.1為采購項目提供整體設計、規(guī)范編制或者項目管理、監(jiān)理、檢測等服務的；

5.2供應商單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的采購活動；

5.3被“信用中國”網站(www.creditchina.gov.cn)或中國政府采購網(www.ccgp.gov.cn)）列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當事人、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的。

三、獲取招標文件

時間：2021年11月16日至 2021年11月22日，每天上午09:00至11:30，下午13:30至17:00（北京時間，法定節(jié)假日除外）

地點：南京市建鄴區(qū)新城科技園嘉陵江東街8號綜合體B3棟16層。

方式：受疫情影響，本項目接受網上獲取采購文件。

售價：￥600（采購文件售后一概不退）

獲取采購文件須提供的資料：加蓋公章的授權委托書原件或掃描件、加蓋公章的被委托人身份證復印件或掃描件，及匯款憑據的截圖。

獲取采購文件電話：025-83609978    郵箱：jshc9999@163.com

以下為本公司對公支付寶付款碼：（轉賬時請務必備注615C6+公司名稱）

四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

2021年12月08日09點30分（北京時間）

地點：南京市建鄴區(qū)新城科技園嘉陵江東街8號綜合體B3棟16層開標大廳

五、公告期限

自本公告發(fā)布之日起5個工作日。

六、其他補充事宜

凡參加投標的相關人員，應在投標截止時間前完成以下程序:

（1）所有人員必須提供蘇康碼的綠色健康碼才能進入會場；

（2）進入開標大廳時必須佩戴口罩,不得隨意走動。

七、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯系。

　　　1.采購人信息

名 稱：東南大學

地址：南京市四牌樓2號

聯系方式：

微電子學院: 竇老師    19827006184

實驗室與設備管理處：劉老師 025-83792693

2.采購代理機構信息

名 稱：江蘇省華采招標有限公司

地址：南京市建鄴區(qū)新城科技園嘉陵江東街8號綜合體B3棟16層

聯系方式：陶工/張工   025-83603328

3.項目聯系方式

項目聯系人：陶工/張工

電　話：025-83603328

江蘇省華采招標有限公司

          2021年11月15日